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中国已成MEMS新战场传感器研发和制造企业发展空间巨大
上传日期
2017.09.19 13:37
发表人
(株) 爱特林
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控制工程网
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2017年9月17日
相对于传统的机械,
MEMS
器件尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米。
通常采用以硅为主的材料,电气性能优良,硅材料的强度、 ...
http://article.cechina.cn/17/0918/10/20170918103737.htm
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