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标题 中国已成MEMS新战场传感器研发和制造企业发展空间巨大 上传日期 2017.09.19 13:37
发表人 (株) 爱特林 查询 428
控制工程网-2017年9月17日

相对于传统的机械,MEMS器件尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为几个微米。
通常采用以硅为主的材料,电气性能优良,硅材料的强度、 ...


http://article.cechina.cn/17/0918/10/20170918103737.htm